Volume Pattern Generator" systems, VPG para abreviar, de Heidelberg Instruments se utilizan principalmente en la producción industrial en serie. Utilizan láseres UV para generar fotomáscaras con gran precisión y velocidad, que sirven como plantillas para la producción de microchips, sensores, LED y MEMS (sistemas microelectromecánicos). Otras posibles aplicaciones de los sistemas VPG son la escritura directa de microestructuras en obleas.
Además de una precisión extremadamente alta, el funcionamiento 24/7 y los tiempos de ciclo muy cortos cada segundo forman parte del perfil de requisitos de los accionamientos de los sistemas. Michael Kappel, Jefe de Diseño Eléctrico: "Por eso desarrollamos internamente muchos componentes básicos, como las mesas XY con cojinetes de aire." Como el proceso de exposición tiene lugar en condiciones de sala blanca, los componentes de accionamiento deben seleccionarse en consecuencia. Esto se aplica en particular a las líneas de suministro de energía, señal y medios a la mesa XY. Incluso las partículas de polvo más pequeñas merman la calidad de la exposición. Otro requisito es al menos igual de importante. Kappel: "Debe evitarse incluso la más mínima perturbación en el curso del suministro de energía, ya que reduce la precisión de la exposición."
